1、MEMS傳感器：加速度傳感器、陀螺儀傳感器、壓力傳感器、慣性組合傳感器、聲學傳感器、氣體傳感器、溫度傳感器、溫度傳感器、光學傳感器、MEMS射頻器件、微型熱輻射傳感器、磁傳感器。
2、MEMS執行器：DMD數字微鏡器件、噴墨打印頭、生物芯片、射頻MEMS、微結構、微型揚聲器、超聲波指紋識別等。

GB/T 38341-2019  微機電系統（MEMS）技術 MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法
GB/T 26111 微機電系統（MEMS）技術 術語
GB 2423.1電工電子產品基本環境試驗規程 試驗A：低溫試驗方法
GB 2423.2電工電子產品基本環境試驗規程 試驗B：高溫試驗方法
GB 2423.3電工電子產品基本環境試驗規程 試驗Ca：恒定濕熱試驗方法
GB 2423.5電工電子產品基本環境規程 試驗Ea：沖擊試驗方法
GB 2423.6電工電子產品基本環境試驗規程 試驗Eb：碰撞試驗方法
GB 2423.10電工電子產品基本環境試驗規程 試驗Fc：振動（正弦）試驗方法

MEMS器件低溫貯存試驗可在器件不帶電工作的情況下確定MEMS器件在低溫下較長時間貯存的可靠性，試驗對象為貯存期間處于較低溫度環境的器件。
健明迪檢測可靠性實驗中心具備各種MEMS器件的可靠性綜合環境試驗能力，為MEMS器件提供專業的低溫貯存試驗等服務。

1、若無其他規定，試驗時間應不小于72 h。宜采用最低試驗溫度為-40℃。 2、試驗前將待測器件取出，自然散熱2 h~48 h至室溫，最長應不超過96 h，然后在標準試驗條件中進行測試。
3、根據不同器件采用相應的功能測試手段，如器件無法實現其指標中的功能即判定為失效：
a）器件如有內置檢測電路，可根據內置檢測電路獲得的故障碼判定器件是否失效；
b）采用X光成像檢測，若器件內部有引線脫落、粘附等現象，即判定器件失效。
如有必要可進一步進行破壞性物理分析，以確定是否有未檢出的其他失效。